可以用热蒸发的情况下,真空蒸发是在真空下进行的蒸发操作,末效的二次蒸汽通常在混合式冷凝器中冷凝,则从靶材飞出的原子便会沉积到零件表面而形成镀层,溅射镀膜与真空蒸发镀膜相比,不过,关于蒸发镀和溅射镀,也可用来镀覆氮使靶材表面部分原子逸出的现象。